当日発送
送料無料

最低価格の ULSIにおける汚染の実態本初版 Realize リアライズ理工センター健康/医学

お気に入りブランド

クチコミ評価 5.4（22件）

販売価格：: ￥7410税込
獲得ポイント：: ポイント

商品がカートに追加されました

販売価格：￥7410 税込

お買い物を続けるカートへ進む

在庫あり

※ 商品のお届けについてはこちらよりご確認ください。

SHOPPING が販売、発送いたします。

当日発送可 (14:00までのご注文が対象)

※
ご注文内容・出荷状況によっては当日発送できない場合もございます。
詳しくはこちらよりご確認ください。

利用可

※
ポストにお届け / 一点のみ購入でご利用可能です。
ゆうパケットでのお届けの場合はサンプル・ノベルティが対象外となります。
ゆうパケットには破損・紛失の保証はございません。
詳しくはこちらよりご確認ください。

商品の詳細

本の説明ですAmazonよりリアライズ理工センター1999/7/28発売475ページ定価52000円LSIの微細化が進む中, 汚染の低減は半導体製造の最大課題の一つであり, その解決には多くの努力が必要になってきた。このためにはシリコンウェーハなどの材料, 製造, または検査設備, ファシリティなど供給系にも汚染の低減が要求され, デバイスメーカと供給メーカが協力して低減に向かわなければならないが, 汚染に対する仕様はデバイスメーカ, またはその技術者によりまちまちで供給メーカの設計をどうするか困惑している状況である。このような状況ではデバイスメーカ間で共通の仕様を提示することが経済的にLSIを製造するポイントであるが, 現状ではデバイスメーカも見解が定まらない状況にある。このようなことからデバイスメーカが汚染をどのように考えているか, 実際の問題は何か, 汚染の許容量・仕様をどうするかという調査が本書のテーマである。この調査は計4回の汚染シリーズセミナーとそのときのパネルディスカッションで行ったが, 実際にはいくつかのグループで議論し, できるだけ共通の問題と捉えて検討を行った。この調査を通してわかったことはデバイスメーカでも完全な情報をもっているわけではなく, このような調査やセミナーを通して議論をまとめていくことが重要であることである。本書はパーティクル汚染, 金属汚染, 化学汚染に分け, 調査結果からいくつかの質問をその分野の専門家に投げかけ, 解答となる論文などを掲載した。元来, 供給側の技術者にLSI製造の実態を理解してもらうために作成した書籍であるが, デバイスメーカも他の技術者の考えを理解することが重要である。本書は汚染に関する理解の共有化(一致化)の第一歩であり, 様々な意見を付加して少しづつ認識が一致することを望んでいる。LSI製造, プロセスに関わる多くの技術者に一読いただき, 多くの意見を集結でき, 経済的に優れた材料, 設備等が得られればこの上もない幸せである。

カテゴリー:	本・音楽・ゲーム>>>本>>>健康/医学
商品の状態:	目立った傷や汚れなし
配送料の負担:	送料込み(出品者負担)
配送の方法:	佐川急便/日本郵便
発送元の地域:	埼玉県
発送までの日数:	2~3日で発送